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半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)

 更新時(shí)間:2019-03-11 點(diǎn)擊量:983

  半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)是一套應(yīng)用在半導(dǎo)體測(cè)試行業(yè)中進(jìn)行高溫低溫測(cè)試的系統(tǒng),其中溫度范圍比較寬,低溫可達(dá)-45℃,高溫可達(dá)250℃,半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng),高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水分,系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙?,低溫自?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。

  半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)整個(gè)真空室位于擴(kuò)散泵正上方,有利于抽氣,加快抽氣速率,使真空室容易達(dá)到高真空。真空室內(nèi)設(shè)有紫銅封閉液氮池,可以在高真空下吸附氣體分子,提高真空度1個(gè)數(shù)量。使被測(cè)物在高真空中,不受環(huán)境影響進(jìn)行測(cè)試、分析。

  半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)真空室裝置的真空室的法蘭與真空機(jī)組的擴(kuò)散泵抽氣法蘭對(duì)接,開(kāi)口處是20mm厚的防爆玻璃為觀察窗口,內(nèi)腔由紫銅液氮池,由漏斗將液氮倒入,經(jīng)直徑6mm的紫銅管進(jìn)入液氮池,另一根管口是揮發(fā)出氣口,池頂?shù)钠脚_(tái)是樣品測(cè)試臺(tái),上面有15根測(cè)試用線,引出真空室外,在外面連接各種測(cè)量設(shè)備。真空室內(nèi)的氣體分子被吸附固定在液氮池表面,提高了真空度。透過(guò)高溫防爆玻璃,還可以觀察測(cè)量樣品的位移變化和發(fā)光強(qiáng)度。

  半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)取放樣品時(shí),先將固定玻璃的緊固圈旋開(kāi),拿開(kāi)防爆玻璃再取放樣片。法蘭口與擴(kuò)散泵的抽氣口連接,真空度在1小時(shí)內(nèi)可達(dá)1.5×10-3Pa。需要低溫時(shí)將2升液氮由漏斗到入內(nèi)腔液氮池,出氣孔位于內(nèi)腔液氮池的頂部,由直徑6mm的紫銅管引出密封真空室外,樣品五分鐘內(nèi)可由室溫降到-45℃。在液氮蒸發(fā)減少過(guò)程中,液面降低,溫度逐漸上升,控制液面的高低,就可以控制溫度。控制高閥大小,就可以控制真空度。需要高溫測(cè)試時(shí),可由調(diào)壓器控制真空室內(nèi)部的輻射式加熱器提升到較高250℃??赏ㄟ^(guò)引入線控制加熱溫度,進(jìn)行導(dǎo)電率、發(fā)光率、變形率、超導(dǎo)率的測(cè)試。

  半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)的導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度、介質(zhì)溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度都可以反饋,升降溫快速,效果穩(wěn)定。(注:本來(lái)部分內(nèi)容來(lái)百度學(xué)術(shù)相關(guān)論文,如果侵權(quán),請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系我們進(jìn)行刪除,謝謝。)

 型號(hào)TES-4555 / TES-4555W
溫度范圍-45℃~250℃
加熱功率5.5kW
制冷量250℃5.5kW
100℃5.5kW
20℃5.5kW
0℃5kW
-20℃2.9kW
-40℃0.9kW
導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度±0.3℃
系統(tǒng)壓力顯示制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)(高壓、低壓)
循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上
控制器西門(mén)子PLC,模糊PID控制算法,具備串控制算法
溫度控制導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度控制模式
外接溫度傳感器:(PT100或4~20mA或通信給定)控制模式(串控制)
可編程可編制10條程序,每條程序可編制45段步驟
通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度、介質(zhì)溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有)
外接入溫度反饋PT100或4~20mA或通信給定
串控制時(shí)導(dǎo)熱油出口溫度與外接溫度傳感器的溫度差可設(shè)定可控制
溫差控制功能設(shè)備進(jìn)液口溫度與出液口溫度的溫度差值可設(shè)定可控制(保護(hù)系統(tǒng)安全)
密閉循環(huán)系統(tǒng)整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng),高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水份,系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙?,低溫自?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。
加熱指系統(tǒng)大的加熱輸出功率(根據(jù)各型號(hào))
加熱器有三重保護(hù),獨(dú)立溫度限制器,確保加熱系統(tǒng)安全
功率大于10kW采用調(diào)壓器,加熱功率輸出控制采用4~20mA線性控制
制冷能力指在不同的溫度具備帶走熱量的能力(理想狀態(tài)下),實(shí)際工況需要考慮環(huán)境散熱,請(qǐng)適當(dāng)放大,并且做好保溫措施。
循環(huán)泵流量、壓力
max
采用冠亞磁力驅(qū)動(dòng)泵/德國(guó)品牌磁力驅(qū)動(dòng)泵
50L/min2.5bar
壓縮機(jī)艾默生
蒸發(fā)器采用DANFOSS/高力板式換熱器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥)
操作面板無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全防護(hù)具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù);高壓壓力開(kāi)關(guān),過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。
制冷劑R-404A / R507C
接口尺寸G3/4
外型尺寸(風(fēng))cm55*95*170
外型尺寸(水)cm45*85*130
風(fēng)冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,上出風(fēng)型式,冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī)
水冷型 W帶W型號(hào)為水冷型
水冷冷凝器套管式換熱器(帕麗斯/沈氏 )
冷卻水量 at 25℃1.5m3/h
電源 380V50HZ9kW max
電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質(zhì)冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035)
隔離防爆可定制隔離防爆(EXdIIBT4)
無(wú)錫冠亞防爆產(chǎn)品安裝許可證號(hào):PCEC-2017-B025
正壓防爆可定制正壓防爆(EXPXdmbIICT4) 正壓系統(tǒng)必須是水冷設(shè)備
無(wú)錫冠亞防爆產(chǎn)品安裝許可證號(hào):PCEC-2017-B025