光刻機(jī)用冷水機(jī)是工業(yè)冷水機(jī)的一種，而每一臺(tái)設(shè)備在出廠前都需要經(jīng)過詳細(xì)的檢測(cè)過程。那么在出廠前需要調(diào)試哪些內(nèi)容呢。

　　1、光刻機(jī)用冷水機(jī)的電流里調(diào)試

　　光刻機(jī)用冷水機(jī)在運(yùn)行的時(shí)候可以檢測(cè)光刻機(jī)用冷水機(jī)循環(huán)泵中的電流里，廠家也可以由此判斷電流里的變化，是過大還是過小，方便觀察水系統(tǒng)的狀況。

　　2、靜水壓調(diào)試

　　光刻機(jī)用冷水機(jī)的出水里、進(jìn)水管壓力值同樣是非常重要的，廠家和客戶可以通過出水里的多少來判斷光刻機(jī)用冷水機(jī)的運(yùn)行是否正常，可以判斷出來是哪—段軟管壓力值稍大,方便修整；

　　3、銅管深吸氣溫度調(diào)試

　　運(yùn)行光刻機(jī)用冷水機(jī)大概半個(gè)小時(shí)候，如果壓縮機(jī)的深吸氣溫度少于0度的時(shí)候，說明了換熱器中的出水里沒有達(dá)到固定值。容易造成揮發(fā)力下挫。

　　3、光刻機(jī)用冷水機(jī)冷量過小時(shí)，會(huì)使蒸發(fā)器供液不足，產(chǎn)生過大熱度，對(duì)系統(tǒng)性能會(huì)造成不利的影響。當(dāng)光刻機(jī)用冷水機(jī)冷量過大時(shí)，會(huì)引起震蕩，間歇性的使蒸發(fā)器供液過量，導(dǎo)致壓縮機(jī)的吸氣壓力出現(xiàn)劇烈波動(dòng)，甚至有液態(tài)制冷劑進(jìn)入壓縮機(jī)，引起液擊(濕沖程)現(xiàn)象。

4、制冷系統(tǒng)的穩(wěn)定性與蒸發(fā)器出口端制冷劑過熱度有關(guān)，因此及時(shí)準(zhǔn)確的排除熱力膨脹閥的故障及正確的選擇與系統(tǒng)匹配的熱力膨脹閥是很重要。