光刻機快速冷卻制冷機常見問題

光刻機快速冷卻制冷機常見問題

　　光刻機快速冷卻制冷機已廣泛用于工業(yè)領(lǐng)域，而光刻機快速冷卻制冷機的常見問題主要是因為蒸發(fā)溫度（蒸發(fā)器中制冷劑的飽和溫度）通常在-85℃至在85℃時，常規(guī)方法不能使用水作為制冷劑，因為制冷劑的溫度低于0℃，并且用于制冷劑熱交換的水的溫度很可能低于0℃。由于凍結(jié)，須在常規(guī)單元的制冷劑溶液中添加防凍劑以降低諸如乙二醇溶液之類的制冷劑溶液的凝固點。

　　但是，該方法存在許多問題：首先，使用和操作成本增加，并且乙二醇溶液易揮發(fā)。使用一段時間后，由于揮發(fā)濃度不夠，難以將水溫降低到使用所需的溫度，或者制冷劑溶液的揮發(fā)濃度降低，凝固點增加，并且結(jié)冰。在使用所需的溫度下發(fā)生，導致蒸發(fā)器的熱交換管凍結(jié)并破裂，從而導致故障；

其次，不允許某些用戶在制冷劑中添加防凍劑（例如乙二醇），例如：芯片工業(yè)，由于這些行業(yè)的使用量很高，一旦光刻機快速冷卻制冷機制冷劑溶液滲透并泄漏到中，就會影響使用靠譜性，因此將被直接丟棄，從而導致廢品率提高，產(chǎn)量減少等問題。